YAG-Kristall
YAG-Kristall (Yttrium-Aluminium-Granat, Y₃Al₅O₁₂) ist ein leistungsstarkes Laser- und optisches Material, das für seine hohe Härte, hohe Wärmeleitfähigkeit, gute chemische Stabilität und ausgezeichnete optische Homogenität bekannt ist. Es wird häufig in Festkörperlasern, LED-Phosphorsubstraten, optischen Fenstern, medizinischen Lasergeräten und elektro{3}optischen Verteidigungssystemen eingesetzt.
Die Hemei Company verfügt über umfassende technische Fachkenntnisse in der Präzisionsbearbeitung harter und spröder Materialien. Für YAG-Kristalle hat Hemei einen effizienten und stabilen Polierprozess entwickelt, der eine vollständig kontrollierbare Bearbeitung vom Grob- bis zum Feinpolieren ermöglicht und sicherstellt, dass die YAG-Kristalloberfläche den Qualitätsstandards „Laserqualität“ oder „optische Qualität“ entspricht.
Bewerbungsvoraussetzungen
Zu den Polierzielen für YAG-Kristalle gehören:
Reduzierung der Oberflächenrauheit (Ra) auf< 0.5 nm.
Erzielung einer Oberflächenfigurgenauigkeit (PV-Wert) besser als λ/10 (@632,8 nm).
Gewährleistung einer beschädigungsfreien Oberfläche ohne Risse unter der Oberfläche, wobei die Anforderungen an die laserinduzierte Schadensschwelle eingehalten werden.
Kontrolle der Dickengleichmäßigkeit (TTV) innerhalb eines bestimmten Mikrometerbereichs.
Um diese Ziele zu erreichen, nutzt der Prozess von Hemei maßgeschneiderte Bindungssysteme und mehrstufige Polierverfahren, um geometrische Genauigkeit und Oberflächenintegrität während der Verarbeitung sicherzustellen.
Systemspezifikationen
Das modulare Poliersystem von Hemei unterstützt die Bearbeitung von YAG-Kristallen verschiedener Größen und Formen. Zu den Kernsystemen gehören:
HSM-Läppausrüstung der L/LP-Serie: Für den anfänglichen Materialabtrag und die Dickenkontrolle.
HSM-Chemisch-mechanisches Poliersystem (CMP) der CMP-Serie: Zur Erzielung ultra-glatter, beschädigungsfreier-Oberflächen.
Zu den wichtigsten Subsystemen gehören:
Wafer-/Kristall-spezifische Bonding Unit (WB)
Präzisionspoliervorrichtungen der SJ/ASJ-Serie
C-ASJ-Antriebskopf-Hochgeschwindigkeits-Poliersystem
Verarbeitungsablauf
Verklebung und Montage: Der YAG-Kristall wird mit der WB-Einheit vorübergehend auf einer Trägerplatte befestigt und dann auf der Poliervorrichtung montiert.
Grob- und Zwischenpolieren: Auf der HSM-L-Anlage wird ein kontrolliertes Läppen durchgeführt, um die Bearbeitungsschadensschicht zu entfernen.
Feinpolieren: Das HSM-CMP-System führt die Endpolitur durch. Parameter wie Druck, Rotationsgeschwindigkeit und Schlammfluss werden in Echtzeit angepasst, um eine Oberflächenglätte im Nanometerbereich zu erreichen.
Typische Ergebnisse
Oberflächenrauheit Ra < 0,5 nm.
Genauigkeit der Oberflächenfigur PV Kleiner oder gleich λ/10.
Kontrollierbare Materialabtragsrate von 1–2,5 μm/min.
Geeignet für YAG-Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll und geformten Kristallen.
Die Hemei Company bietet eine vollständige und zuverlässige Polierlösung für YAG-Kristalle, die eine konsistente Oberflächenqualität im Nanometerbereich und eine hohe optische Leistung liefert. Dies unterstützt die industrielle Anwendung von YAG-Kristallen in High-End-Bereichen wie Lasern und Optoelektronik.
